机译:通过射频磁控溅射Cu2O靶材以低功率沉积高迁移率和低空穴浓度的多晶CuxO膜
Oxide semiconductor materials; Sputtering; Thin films;
机译:通过射频磁控溅射Cu2O靶材以低功率沉积高迁移率和低空穴浓度的多晶CuxO膜
机译:低温射频磁控溅射沉积低电阻率掺杂镓的氧化锌膜
机译:氧气流速对磁控溅射单相多晶Cu2O膜物理特性的影响
机译:施加衬底偏置的RF磁控溅射在玻璃衬底上低温直接沉积多晶硅薄膜
机译:碲化镉和碲化锌薄膜以及太阳能电池的射频磁控三极管溅射。
机译:射频直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子输运和晶体学取向特征
机译:磁控溅射从复合靶材上沉积的低氧化学计量外延ZrB2薄膜:沉积温度和溅射功率的影响