超精密加工機「Zμ3500」の加工特性

摘要

工具、工法、材料面での進歩が著しい高精度·微細加工分野において、どのような加工機が望まれているのか。精度のみを追求すれば、非球面レンズの金型などを0.1μm以下の形状精度で加工できる超精密専用機も考えられるが、コストや汎用性を考えれば必ずしも一般のユーザーが導入できる加工機ではない。一方、コストや汎用性の面では一般のマシニングセンタが適しているが、精度は数μmレベルであり物足りなさを感じる場合も多い。では超精密専用機と汎用マシニングセンタ、この2つの加工機の狭間、精度としては0.1～1.0μmの領域をカバーできる汎用機をつくってみたらどうか。そこで、当社は静圧案内面を持ちリニアモータ駆動とした送り軸を持つ「微細加工セル：Zμ3500」（図1）を開発し、市場に提供してきた。