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空気潤滑超精密位置決め機構とそのX線露光装置への応用利用統計を見る

机译:空气润滑的超精密定位机构及其在X射线曝光设备中的应用,请参阅使用统计。

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著录项

  • 作者

    石原 直;

  • 作者单位

    東京大学;

  • 授予单位 東京大学;
  • 学科
  • 学位 博士
  • 年度 1992
  • 页码 1-92
  • 总页数 92
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
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