超精密复合加工装置中的加工机构的判断方法及超精密复合加工装置

摘要

一种在从被加工件制造微细加工物的超精密复合加工装置（100）中判断加工机构的方法，其特征在于，超精密复合加工装置（100）具有：用于粗削被加工件的电磁波加工机构（10）、用于对粗削过的所述被加工件施行精密加工的精密机械加工机构（30）、以及用于在电磁波加工机构（10）及精密机械加工机构（30）的使用时测量被加工件的形状的形状测量机构（50），在加工机构的判断中，基于微细加工物的立体形状模型的信息、与在微细加工物的制造时从被加工件去除的去除体积有关的信息；以及，与电磁波加工机构（10）的去除加工时间有关的数据及与精密机械加工机构（30）的去除加工时间有关的数据，进行是使用电磁波加工机构（10）或者是精密机械加工机构（30）的判断。