超精密大型加工機によるX線ウォルターミラープレス金型のELID研削加工特性

摘要

本研究では，上記ウォルターミラーのさらなる高精度化を目指して，プレス加工に用いる凸面金型の超精密加工を試みた．特に，金型表面の高品位化に焦点を絞り，微細砥粒を用いたELID鏡面研削を試みた結果について報告する．