超精密大型加工機によるX線ウォルターミラープレス金型のELID研削加工特性

摘要

X線解析装置の開発には，超精密な形状精度と極限の平滑性を有した斜入射反射ミラーの開発が不可欠となる．なかでもX線望遠鏡のような高分解能を要求されるX線結像光学系には，ウォルターI型と呼ばれる斜入射光学系が代表的に用いられる．著者らは，前報において，ELID研削システム搭載の超精密大型加工機を用いることにより，望遠鏡用ウォルターミラー（素材：アルミニウム、厚み：0.3mm，焦点距離4750mm）のプレス加工に用いる凹面金型の超精密加工を行っており，優れた形状精度が得られることを明らかにしている．本研究では，上記ウォルターミラーのさらなる高精度化を目指して，プレス加工に用いる凸面金型の超精密加工を試みた．特に，金型表面の高品位化に焦点を絞り，微細砥粒を用いたELID鏡面研削を試みた結果について報告する．