法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-20
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/027 授权公告日:20110420 终止日期:20181227 申请日:20071227
专利权的终止
2011-04-20
授权
授权
2009-06-24
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-04-29
公开
公开
机译: 像差评估图案,像差评估方法,像差校正方法,电子束绘制设备,电子显微镜,母版,压模,记录介质和结构
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