結像系収差補正電子顕微鏡（収差補正TEM）を駆使した微細構造解析手法の進展

摘要

結像系収差補正電子顕微鏡（収差補正TEM）の特長を最大限に引き出した一連の原子レベル·ナノレベル局所構造解析手法を紹介する．レンズ収差が無い利点とその特性を生かした原子位置直読観察法，電子線透過方向への分解能を生かした三次元情報計測やアモルファス内部クラスターの検出法など,最先端測定の有用性を解説する。