机译:使用单晶硅的纳米尺度各向异性刻蚀制造3D分形结构
机译:使用单晶硅的纳米尺度各向异性刻蚀制造3D分形结构
机译:写入纤维植入和随后的各向异性湿化学蚀刻以制造硅中的3D结构
机译:通过在晶体硅表面上结合AFM和化学蚀刻来制造3D结构
机译:一种改进的各向异性湿法蚀刻工艺,用于使用单个蚀刻掩模制造硅MEMS结构
机译:硅/硅锗化物异质结构的各向异性碳氟化合物等离子体刻蚀和等离子体刻蚀引起的侧壁损伤
机译:具有倒置金字塔微结构的20.19%高效单晶硅太阳能电池的制造
机译:用细胞自动机模拟单晶硅的各向异性化学蚀刻