机译:通过电磁驱动和静电保持操作的单膜推挽式SPDT RF MEMS开关的设计和制造
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机译:波导分层分层设计的SOI体微机械双SPDT RF-MEMS开关及其开关机构
机译:用于近零功率射频唤醒接收器的静电AlN RF MEMS开关的设计与制造
机译:结合电磁驱动和静电保持操作的低压推挽式SPDT RF MEMS开关
机译:使用钛酸锆钛酸铅(PZT)薄膜致动器的RF MEMS系列开关的设计,制造,测试和评估
机译:用于光开关的MEMS电磁摆型执行器的设计和制造
机译:使用单个偏置电压并基于双串联和并联电容MEMS开关的SPDT RF MEMS开关
机译:设计和制造用于空间mEms变形镜的波纹膜静电致动器