首页> 中文期刊> 《电子工业专用设备》 >电磁驱动RF MEMS开关的研究状况

电磁驱动RF MEMS开关的研究状况

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

RF MEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力,作为其核心器件的RF MEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件.电磁驱动RF MEMS开关具有工作电压比较低,驱动力大,可以工作在恶劣的环境等优点,使其成为近年来RF MEMS开关研究的一个热点.

著录项

来源
《电子工业专用设备》 |2007年第1期|18-20,30|共4页
作者
李全宝; 景玉鹏; 刘茂哲; 陈大鹏; 欧毅; 马瑾; 叶甜春;
展开▼
作者单位

山东大学物理与微电子学院,山东济南;

中国科学院微电子研究所,北京;

中国科学院微电子研究所,北京;

中国科学院微电子研究所,北京;

中国科学院微电子研究所,北京;

中国科学院微电子研究所,北京;

山东大学物理与微电子学院,山东济南;

中国科学院微电子研究所,北京;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机电系统;
关键词
RF MEMS技术; RF MEMS开关; 电磁驱动; 工作电压; 驱动力;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. MEMS微电磁驱动器磨损对光开关性能的影响分析 [J] . 贾书海 ,朱军 ,赵小林 . 微细加工技术 . 2007,第002期
2. 电容式RF MEMS开关开关过程产生的电磁波模型和分析 [J] . 袁晓林 ,黄庆安 ,廖小平 . 传感技术学报 . 2006,第005期
3. 电容式RF MEMS开关开关过程产生的电磁波模型和分析 [J] . 袁晓林 ,黄庆安 ,廖小平 . 传感技术学报 . 2006,第05B期
4. 半导体开关与RFMEMS开关性能分析与比较 [J] . 南敬昌 ,刘元安 ,冯永生 . 辽宁工程技术大学学报：自然科学版 . 2006,第4期
5. RF MEMS开关在开关瞬态时的电磁干扰 [J] . 陆逸敏 ,黄庆安 ,廖小平 . 中国机械工程 . 2005,第0z1期
6. 电容式RF MEMS开关开关过程产生的电磁波模型和分析 [C] . 袁晓林 ,黄庆安 ,廖小平 . 第八届中国微米/纳米技术学术年会 . 2006
7. 基于微电磁驱动的新型MEMS光开关研制 [A] . 贾书海 . 2002

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号