机译:空心阴极等离子体辅助原子层沉积低温生长纤锌矿InxGa1-xN薄膜
机译:空心阴极等离子体辅助原子层沉积低温生长纤锌矿InxGa1-xN薄膜
机译:在低温下空心阴极等离子体辅助原子层沉积晶体AlN,GaN和Al_xGa_(1-x)N薄膜
机译:具有基于空心阴极等离子体辅助原子层沉积的GaN沟道的低温薄膜晶体管
机译:中空阴极等离子体辅助原子层沉积:低温合成III族氮化物晶体薄膜和纳米结构的新途径
机译:通过原子层沉积法生长的润滑性纳米晶状氧化锌/氧化铝纳米层压板和二氧化锆单膜的结构和低温摩擦学。
机译:高密度Ni纳米粒子的等离子体辅助原子层沉积用于非晶In-Ga-Zn-O薄膜晶体管存储
机译:空心阴极等离子体辅助原子层沉积低温生长纤锌矿In
机译:二元和三元氧化物薄膜原子层外延低温沉积过程的研究