III-nitride; atomic layer deposition; hollow cathode plasma; nanofibers; photodetectors; thin film transistors;
机译:中空阴极等离子体辅助原子层沉积法生长AlN薄膜的电导和介电弛豫特性
机译:等离子增强原子层沉积法低温自限生长III族氮化物薄膜
机译:空心阴极等离子体辅助原子层沉积低温生长纤锌矿InxGa1-xN薄膜
机译:空心阴极等离子体辅助原子层沉积:晶体III族氮化物薄膜和纳米结构的低温合成新途径
机译:原子层沉积合成银薄膜
机译:高密度Ni纳米粒子的等离子体辅助原子层沉积用于非晶In-Ga-Zn-O薄膜晶体管存储
机译:中空阴极等离子体辅助原子层沉积:低温合成III族氮化物晶体薄膜和纳米结构的新途径
机译:二元和三元氧化物薄膜原子层外延低温沉积过程的研究