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机译:用于铝金属化的新型多层Ti / TiN扩散阻挡层
Diffusion barrier; titanium nitride; multilayer; aluminum;
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机译:Ti和Ti / Al双层作为SAW器件应用中铜金属化的替代扩散阻挡层的TEM研究
机译:比较WTi和WTi(N)作为Si上Al和Cu金属化的扩散阻挡层的热稳定性和Ti扩散行为
机译:多层Ti / TiN结构的改进的基于TiN的扩散阻挡层
机译:Al / Ti(x)W(1-x)金属/扩散阻挡系统:界面反应路径和动力学随成分和微观结构的变化。
机译:Ti / Al金属间金属薄板中TiAl3金属间相的形核与生长
机译:多层纳米结构涂层Ti-TiN-(TiCral)N和Zr-Zrn-(Zrcrnbal)N厚度对各种切割速度的金属切削刀具刀具寿命的影响
机译:非晶Ti-p-N扩散阻挡层在硅金属化中的应用。