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刘杨秋; 梁彤祥; 付志强; 倪晓军; 赵福群;
清华大学核能技术设计研究院;
清华大学;
聚酰亚胺; 铜薄膜; TiN; 热处理;
机译:在两个TiN膜之间使用薄层间金属(M = Ru,Cr和Zr)进行铜金属化的多层扩散阻挡层
机译:成分对化学沉积Ni-Co-P合金薄膜作为铜金属化扩散阻挡层的影响
机译:铜在Co / Cu / TiN薄膜中的铜扩散以进行铜金属化。
机译:氧等离子体处理的TiN扩散阻挡层对AlSiCu / TiN接触金属化结构稳定性的影响
机译:组成,形貌和半导体性能对通过快速热处理制备的铜铟镓硒硒薄膜太阳能电池效率的影响。
机译:镍催化剂层和TiN扩散阻挡层对碳纳米管生长速率的影响
机译:低温退火对TiN沉积硅集成电路基板中化学镀铜薄膜附着力的影响
机译:非晶金属合金:铜金属化薄膜扩散阻挡层的新进展
机译:铜金属化的生产包括在基板中准备接触区域,在绝缘层中开孔以接触区域,在孔中沉积碳化钽氮化物阻挡层以及铜沉积层
机译:由Tacn制成的用于铜金属化的优化薄膜扩散阻挡层
机译:用于铜金属化的优化TaCN薄膜扩散阻挡层
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