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机译:电子回旋共振等离子体技术制备碳化硅薄膜的性能研究
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机译:电子回旋共振等离子体辅助原子层沉积技术制备金属铝薄膜的性能
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机译:用电子回旋谐振等离子体化学气相沉积制备氢化非晶碳化硅膜微观结构和光学性能的影响
机译:微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积法沉积的纳米晶和非晶硅薄膜晶体管:材料分析,器件制造和表征。
机译:脉冲等离子体化学气相沉积法制备纳米多孔非晶碳化硼薄膜的摩擦学和热稳定性研究
机译:电子回旋共振辅助溅射沉积制备氮化硅膜的电学性质
机译:椭圆偏振研究电子回旋共振等离子体沉积硅薄膜的成核和生长。