Characteristics and properties of metal aluminum thin films prepared by electron cyclotron resonance plasma-assisted atomic layer deposition technology

著录项

• 来源
  《中国物理：英文版》 |2012年第7期|P.559-565|共7页
• 作者

  熊玉卿; 李兴存; 陈强; 雷雯雯; 赵桥; 桑利军; 刘忠伟; 王正铎; 杨丽珍;

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• 作者单位

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• 收录信息 中国科学引文数据库(CSCD);中国科技论文与引文数据库(CSTPCD);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜的生长、结构和外延;
• 关键词

  等离子体辅助; 电子回旋共振; 沉积技术; 薄膜制备; 金属铝; 原子层; 铝薄膜; 属性;

  机译：等离子体辅助;电子回旋共振;沉积技术;薄膜制备;金属铝;原子层;铝薄膜;属性;