机译:微重力电容式HARPSS加速度计的设计优化与实现
Electrical and Computer Engineering Department, Atlanta, GA 30332 USA;
Accelerometer; high-aspect ratio polysilicon and single-crystal silicon process (HARPSS); noise-equivalent acceleration (NEA); single-crystal silicon (SCS);
机译:电容性MEMS加速度计的新型滑模传感架构的设计与实现
机译:基于曲面微机械的全差压电容性MEMS加速度计的设计与优化
机译:使用参数优化与不确定性的高性能电容式加速度计的结构设计
机译:新型多晶硅单质量差动电容传感三轴加速度计的设计与实现
机译:微机械电容式加速度计的设计与制造。
机译:基于LTCC的电容式加速度计的设计制造和性能表征
机译:用于卫星发射车辆的电容式拾取mEms加速度计的非线性补偿的设计和FpGa实现