Accelerometer; HARM; capacitive sensing; inertial sensors; polysilicon micromachining; rib-proofmass;
机译:基于多晶硅的两轴差分电容传感加速度计
机译:利用CMOS-MEMS技术实现单片单质量三轴加速度计
机译:在智能手机中使用3轴加速度计的跌倒监控系统的设计和实现
机译:新型多型单型检测质量电容感应3轴加速度计的设计与实现
机译:使用双弧加速度计阵列和3轴速率陀螺仪确定车辆姿态的状态估计过滤算法。
机译:达到抑制良好的响应:可穿戴的3轴加速度计运动分析
机译:3轴力平衡加速度计使用单一校验质量
机译:使用单个质量块的3轴力平衡加速度计