基于单一敏感质量的三轴电容加速度计的设计

摘要

设计了一种单一敏感质量的三轴电容加速度计.该器件采用全差分电容的检测方法 ,满足了灵敏度的设计要求并解决了三轴的交叉耦合问题 ,其独特的单一敏感质量结构减小了器件的整体尺寸 ,降低了成本.器件由外延多晶硅工艺实现了18 μm的厚度制作 ,降低了热机械噪声 ,增大了检测电容 ,提高了灵敏度、分辨率和可靠性.ANSYS仿真结果表明 ,器件在3个轴向的灵敏度一致性好 ,抗干扰 ,测试结果和理论分析相符.该加速度计结构工艺简单 ,在消费电子领域有较好的应用前景.