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机译:具有兼容CMOS的PECVD金属间钝化的MEMS MOS气体传感器的开发
Fdn Bruno Kessler, Via Sommar 18, Trento, Italy;
Fdn Bruno Kessler, Via Sommar 18, Trento, Italy|Univ Ferrara, Dept Phys & Earth Sci, Via Saragat 1, Ferrara, Italy;
Fdn Bruno Kessler, Via Sommar 18, Trento, Italy;
Fdn Bruno Kessler, Via Sommar 18, Trento, Italy;
Fdn Bruno Kessler, Via Sommar 18, Trento, Italy;
Fdn Bruno Kessler, Via Sommar 18, Trento, Italy;
Univ Ferrara, Dept Phys & Earth Sci, Via Saragat 1, Ferrara, Italy;
Fdn Bruno Kessler, Via Sommar 18, Trento, Italy;
Univ Ferrara, Dept Phys & Earth Sci, Via Saragat 1, Ferrara, Italy;
Fdn Bruno Kessler, Via Sommar 18, Trento, Italy;
CMOS; BEOL; MEMS; PECVD; Silicon nitride; Silicon oxide; Microheater; Microfabrication; Gas sensor; Residual stress; Elastic modulus;
机译:MEMS MOS气体传感器的开发与CMOS兼容的PECVD互相钝化
机译:高灵敏磁催化CMOS-MEMS兼容气体传感器的研究
机译:PECVD氮化硅中的氢解吸扩散。在CMOS有源像素传感器钝化中的应用
机译:用于CMOS-MEMS集成的硅MEMS压阻式压力传感器的SPICE兼容热模型的开发
机译:使用压电聚合物的MEMS尺寸CMOS兼容能量收集器,用于可持续电子
机译:使用CMOS–MEMS技术制造的低浓度氨气传感器
机译:多功能平台,带有CmOs兼容的钨微光板,用于皮拉尼,温度和气体传感器