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机译:微型绝缘体上硅MEMS压阻式压力传感器的计算机辅助建模
机译:CMOS-MEMS集成的Silicon MEMS压阻式压力传感器的Spice兼容热模型的开发
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:具有证明质量的低成本CMOS-MEMS压阻式加速度计
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