公开/公告号US9577135B2
专利类型
公开/公告日2017-02-21
原文格式PDF
申请/专利权人 AMS AG;
申请/专利号US201415028010
申请日2014-09-30
分类号H01L31/09;H01L31/0216;H01L31/113;H01L27/146;G01J1/42;H01L21/28;H01L21/3205;H01L27/115;H01L27/144;H01L29/49;H01L29/788;H01L31/18;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:43:30