机译:使用高分辨率DLTS对离子注入硅中的团簇缺陷进行退火研究
Materials and Engineering Research Institute, Sheffield Hallam University, Howard Street, Sheffield S1 1WB, United Kingdom;
DLTS; Laplace DLTS; deep level; ion implantation; interstitial cluster;
机译:高分辨率DLTS研究辐照和离子注入n型硅中与空位有关的缺陷
机译:离子注入硅中自填隙团簇和扩展缺陷的光致发光研究
机译:通过等离子体氢化和退火在离子注入硅中的掩埋缺陷层处吸氢
机译:离子植入硅的自血栓间簇和延伸缺陷的光致发光研究
机译:离子注入的硅纳米线波导光电探测器中的缺陷介导的亚带隙光学吸收。
机译:退火引起的升华生长立方碳化硅点缺陷性质的变化
机译:植入式硅晶体中脉冲激光退火引起的扩展缺陷结构研究
机译:低能离子注入硅退火过程中的缺陷扩散