机译:硅和金刚石的深反应离子刻蚀,用于制造平面折射硬X射线透镜
Laboratory for Micro- and Nanotechnology, Paul Scherrer Institut, CH-5232 Villigen-PSI, Switzerland;
X-Ray optics; refractive lens; X-Ray free electron laser; reactive ion etching;
机译:硅模具的深度反应离子刻蚀,用于制造钻石X射线聚焦透镜
机译:通过电子束光刻和深反应离子刻蚀制造用于硬X射线聚焦的硅纳米管透镜
机译:使用深反应离子刻蚀优化制造硅纳米聚焦X射线透镜
机译:用于硬X射线的平面抛物面折射透镜:制造的技术方面
机译:使用灰度光刻和深反应离子刻蚀开发深硅相菲涅耳透镜
机译:通过深反应离子蚀刻制造高纵横比硅光栅
机译:用于深度反应离子蚀刻高纵横比的kinoform硅x射线透镜的牺牲结构