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机译:使用深反应离子刻蚀优化制造硅纳米聚焦X射线透镜
Ⅱ. Physikalisches Institut, Aachen University, D-52056 Aachen, Germany;
机译:硅模具的深度反应离子刻蚀,用于制造钻石X射线聚焦透镜
机译:通过电子束光刻和深反应离子刻蚀制造用于硬X射线聚焦的硅纳米管透镜
机译:硅和金刚石的深反应离子刻蚀,用于制造平面折射硬X射线透镜
机译:用于微混合器器件制造的硅深蚀刻的反应离子蚀刻工艺的开发
机译:使用灰度光刻和深反应离子刻蚀开发深硅相菲涅耳透镜
机译:通过深反应离子蚀刻制造高纵横比硅光栅
机译:用于深度反应离子蚀刻高纵横比的kinoform硅x射线透镜的牺牲结构