机译:使用紫外线可固化正性电子束光刻胶,通过紫外-纳米压印光刻和电子束光刻进行微通道制造
Tokyo Univ Sci Dept Appl Elect 6-3-1 Niijuku Katsushika Tokyo 1258585 Japan;
Microchannel; Ultraviolet-nanoimprint lithography (UV-NIL); Electron-beam lithography (EBL); Resist polymer;
机译:电子束光刻中正性化学放大抗蚀剂的抗蚀剂轮廓模拟的一些特殊性
机译:控制电子束灰度光刻中3D结构制造的抗蚀剂厚度和蚀刻深度
机译:通过原位光学光刻和电子束光刻相结合的确定性制造与单个量子发射器耦合的圆形布拉格光栅
机译:使用电子束光刻技术形成用于晶体管T型栅极的多层抗蚀剂掩模
机译:用于多束电子束光刻的薄膜栅极光阴极。
机译:海藻糖糖醇抗性可通过电子束光刻直接写入蛋白质图案
机译:用于电子束光刻的高对比度3D接近校正:用于制造悬挂掩模的使能技术,用于在UHV环境中完成器件制造