T-gate; electron-beam lithography; multilayer resist mask;
机译:高电子迁移晶体管制造中的T型栅极的单步电子束光刻归档
机译:使用紫外线可固化正性电子束光刻胶,通过紫外-纳米压印光刻和电子束光刻进行微通道制造
机译:用于电子束光刻的高对比度3D接近校正:一种用于制造悬浮掩模的使能技术,用于在超高压环境中完成器件制造
机译:使用电子束光刻形成用于晶体管T型栅极制造的多层抗蚀剂掩模
机译:电子束投影光刻掩模系统在曝光期间的热机械变形。
机译:海藻糖糖醇抗性可通过电子束光刻直接写入蛋白质图案
机译:用于电子束光刻的高对比度3D接近校正:用于制造悬挂掩模的使能技术,用于在UHV环境中完成器件制造