聚合物树脂及其制备方法、改善电子束光刻胶开裂的方法、电子束光刻胶及其制备与使用

摘要

本发明涉及一种聚合物树脂及其制备方法、改善电子束光刻胶开裂的方法、电子束光刻胶及其制备与使用。聚合物树脂的制备方法包括如下步骤：1)包含芳香族乙烯基单体和α‑卤代丙烯酸酯单体的单体组合物聚合；2)将得到的混合物在包括酮类溶剂/和烷基类溶剂的溶液中沉降、过滤和干燥。电子束光刻胶采用该制备方法获得的聚合物树脂，改善电子束光刻胶开裂。电子束光刻胶的制备方法：将电子束光刻胶的各组分混合。使用方法：将电子束光刻胶涂布在硅片上，依次经过前烘、曝光和显影。本发明将单体组合物聚合得到的混合物在包括酮类溶剂/和烷基类溶剂的溶液中沉降，能够改善电子束光刻胶的开裂，提高电子束光刻胶曝光的可靠性。