机译:集成的压阻力和位置检测传感器,用于微处理应用
Delft Institute of Microsystems and Nanoelectronics, Delft University of Technology, Laboratory of Electronic Components, Technology and Materials, Delft, The Netherlands|c|;
Force sensors; microelectromechanical systems; micromachining; micromanipulators; position measurement;
机译:高性能和集成压阻力传感器的原型,用于微型应用
机译:硅压阻微悬臂,用于高度集成的平行力检测应用
机译:具有集成压阻传感器和热双压电晶片执行器的微机械原子力显微镜传感器,用于高本征模式下的高速攻丝模式原子力显微镜相位成像
机译:位置和力分布传感器阵列,用于在微处理中监视对象的接触状况
机译:用于力反馈应用的无刷直流电动机和旋转变压器位置传感器的空间矢量调制
机译:纤维压阻传感器在玻璃层压复合材料压缩和牵引检测中的同时应用
机译:高性能和集成压阻力传感器的原型,用于微型应用