机译:用于IC以上集成的表面微机械组合式磁力计/加速度计
Wireless Integrated Circuits and Microelectromechanical Systems Group, McGill University, Montréal, QC, Canada;
Lorentz force magnetometers; Microelectromechanical systems (MEMS); above-IC integration; above-IC integration.; micromachined accelerometers; silicon carbide (SiC); surface micromachining;
机译:使用低温沉积的碳化硅膜进行超微IC的表面微加工CMUT
机译:用于IC以上集成的平面SiGe差分电容加速度计
机译:TPMS(轮胎压力监测系统)传感器:表面微机械压阻式压力传感器和可自测加速度计的单片集成
机译:微机械磁加速计
机译:基于光强度调制的厚多晶硅表面微机械加速度计。
机译:结合磷酸和钙表面官能化增强聚醚醚酮的骨整合能力
机译:用于IC以上集成的表面微机械组合式磁力计/加速度计
机译:用于燃气轮机应用的表面微加工碳化硅加速度计