...
机译:用于IC以上集成的平面SiGe差分电容加速度计
机译:用于IC以上集成的平面SiGe差分电容加速度计
机译:与3D CMOS兼容的表面微加工工艺中的平面内高灵敏度电容式加速度计
机译:具有位移放大兼容机制的微机械宽带面内单轴电容式加速度计
机译:高于IC的通用SiSi薄膜晶圆级封装和MEM器件技术:应用于加速度计
机译:具有漂移补偿的高动态范围CMOS-MEMS电容式加速度计阵列
机译:微小间隙半导体SiGe单层中面内极化反演的应变诱导拓扑相变
机译:用于IC以上集成的表面微机械组合式磁力计/加速度计