用于矢量水听器的差分电容式加速度计设计与分析

摘要

介绍了一种用于矢量水听器的差分电容式加速度计，其芯体采用对称的“四折叠梁-质量块”硅结构。在理论上，对加速度计离轴灵敏度和弹性梁选取进行了分析，给出了结构参数。通过有限元分析，计算出了质量块的最大位移量和折叠梁的应力分布情况。振动模态分析发现二阶及以上模态的振动对加速度计的敏感模态影响很小。最后对系统的阻尼进行了分析。本文为该类加速度计的研制提供了设计依据。