Silicon carbides; Accelerometers; Micromachining; Gas turbines; Finite element method; Temperature dependence; Thermal expansion; Resonant frequencies; Silicon polymers; Thermal stresses;
机译:碳化硅纤维增强碳化硅(SiC / SiC)在燃气轮机组件中的应用
机译:碳化硅纤维增强碳化硅(SiC / SiC)对燃气轮机部件的应用
机译:用于燃气涡轮发动机的微机械碳化硅和镍燃料雾化器的制造和测试
机译:3-D碳化硅表面微机械加速度计与CMOS加工相容
机译:基于光强度调制的厚多晶硅表面微机械加速度计。
机译:用于高温应用的基于碳化硅的氢气传感器
机译:用于燃气轮机应用的表面微加工碳化硅加速度计