机译:光电子显微镜观察光化性极紫外光刻掩模空白缺陷
Univ Bielefeld, Fac Phys, D-33615 Bielefeld, Germany;
Univ Mainz, Inst Phys, D-55099 Mainz, Germany;
Focus GMBH, D-65510 Hunstetten Kesselbach, Germany;
机译:光电发射显微技术检测极紫外光刻多层掩模板的高分辨率光化缺陷
机译:通过光发射电子显微镜在波长范围内检查极紫外光刻掩模坯料中的40 nm以下缺陷
机译:通过光电子显微镜对EUVL掩模空白缺陷进行光化检查:检查波长变化的影响
机译:通过EUV光电子显微镜检查光化性EUVL掩模空白缺陷
机译:台式,全视野,光化显微镜,用于极端紫外线光刻掩模表征。
机译:用于超快电子显微镜的光发射源和光束消隐器
机译:极端紫外线光刻掩模坯料中相缺陷的修复