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InGaSb photodetectors using an InGaSb substrate for 2 mu m applications

机译:使用InGaSb衬底的InGaSb光电探测器可用于2微米的应用

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摘要

Detectors operating at 2 mum are important for several applications including optical communication and atmospheric remote sensing. In this letter, fabrication of 2 mum photodetectors using an InGaSb substrate is reported. The ternary substrates were grown using vertical Bridgmann technique and Zn diffusion was used to fabricate p-n junction diodes and photodiodes. Dark current measurement reveals that the breakdown voltage is in the 0.75 to 1 V range. Spectral response measurements indicated a 2 mum responsivity of 0.56 A/W corresponding to 35% quantum efficiency. Photodiode performance was compared to similar devices fabricated on binary substrates. (C) 2004 American Institute of Physics.
机译:以2毫米工作的探测器对于包括光通信和大气遥感在内的多种应用非常重要。在这封信中,报道了使用InGaSb衬底制造2个光电探测器的过程。使用垂直Bridgmann技术生长三元衬底,并使用Zn扩散来制造p-n结二极管和光电二极管。暗电流测量表明击穿电压在0.75至1 V范围内。光谱响应测量表明2 mum的响应度为0.56 A / W,相当于35%的量子效率。将光电二极管的性能与在二元基板上制造的类似器件进行了比较。 (C)2004美国物理研究所。

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