表面波激发等离子体合成类金刚石薄膜的实验研究

摘要

用表面波等离子体装置进行了类金刚石薄膜的合成实验 ,研究了微波功率、基底负偏压和气体组成等条件对成膜的影响。用拉曼光谱和扫描电子显微镜对薄膜结构和表面形貌进行了分析 ,得出在 10 0Pa的工作气压下 ,使用CH4 放电 。