吹き出し型マイクロ波励起大気圧プラズマにおけるナノ結晶ダイヤモンド薄膜の合成

机译：气泡微波激发大气等离子体中纳米晶金刚石薄膜的合成

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プラズマCVDは通常低圧力（0.1Torr-100Torr）で行われてきた．近年では，大気圧非熱平衡プラズマ（以下，大気圧プラズマ）を用いたCVD法が注目されている。大気圧プラズマは高ラジカル密度と高電子密度を達成でき，かつ真空系が軽減できるため，高速·大量生成が可能なCVDシステムを安価で提供することができる．

机译：血浆CVD通常在低压（0.1 Torr-100 Torr）处进行。近年来，CVD方法采用大气压非热平衡等离子体（以下称为大气压等离子体）引起关注。大气压等离子体可以实现高自由基密度和高电子密度，并且可以降低真空系统，从而可以廉价地提供能够高速和大量的CVD系统。

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来源
《表面技術協会講演大会》|2011年||共1页
会议地点
作者
金載浩; キムドンミン; 大崎博之;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类 TG17-532;
关键词
プラズマCVD; 大気圧プラズマ; ナノ結晶ダイヤモンド; マイクロ波プラズマ;

机译：等离子体CVD;大气压等离子体;纳米晶金刚石;微波等离子体;

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