氧化锌/类金刚石声表面波器件复合薄膜的制备方法

摘要

类金刚石（diamond-likecarbon,DLC）薄膜具有高声速和光滑表面，是声表面波器件的理想衬底材料，c轴择优取向的氧化锌（ZnO）薄膜具有压电性能。本发明涉及声表面波器件，提供了一种可用于高频、高机电耦合系数、大功率声表面波器件领域的ZnO/DLC声表面波器件复合薄膜结构的制备方法。本发明采用脉冲激光等离子体沉积技术，以石墨和氧化锌为靶材，首先在硅基片上沉积类金刚石薄膜，进而在类金刚石薄膜上沉积一层具有高c轴择优取向的ZnO薄膜，获得可用于薄膜声表面波器件的ZnO/DLC复合薄膜结构。本发明制备工艺简单、易行，该ZnO/DLC复合薄膜结构可用于制作低插入损耗、高频和大功率声表面波器件。