表面波等离子体源合成类金刚石膜及其机理研究

摘要

类金刚石碳(DLC)膜可以使用多种方法在不同的基底材料上沉积,它不但具有许多与金刚石相近的性质,如高硬度、耐磨损、表面光洁度高、高电阻率、高热导率及化学惰性等,而且金刚石相比,DLC膜的组成(SP<'3>/SP<'2>比)可变,因而其性质也在一定范围内可调,可适用与较多的应用场合.最重要的是:DLC膜可在低温或接近室温的条件下制备,减少了膜的应力,为它的实际应用建立了一个良好的前提,这也是目前人们致力于研究它的一个主要原因.

目录

文摘

英文文摘

第一章类金刚石膜概论

第一节类金刚石膜概述

第二节类金刚石膜的研究现状

1合成法

2沉积物质

3基底

4宏观参数影响

5表征手段

6应用

第三节本论文的主要内容

本章参考文献

第二章等离子体诊断及薄膜结构分析

第一节常用等离子体诊断方法

1静电双探针

2离子能量分析器

3发射光谱

4质谱

第二节常用结构分析方法

1 Raman光谱

2红外吸收谱

3X射线光电子能谱

4扫描电子显微镜

第三节薄膜宏观物理量的测定

第四节实验装置及实验条件

本章参考文献

第三章宏观参数对等离子特性及膜结构的影响

第一节微波功率的影响

第二节基底偏压的影响

第三节氢气含量的影响

第四节沉积时间的影响

本章参考文献

第四章其它条件下的成膜实验及对膜结构的影响

第一节石英衬底成膜

第二节其它气体掺入成膜

第三节热丝辅助成膜

第四节薄膜宏观物理量的测量结果

本章参考文献

第五章微波等离子体生长类金刚石膜的机理分析

第一节类金刚石膜生长机理的有关结论

第二节类金刚石膜生长中起作用的主要过程分析

本章参考文献

第六章总结

第一节本论文工作的主要特点

第二节实验中存在的问题

第三节一些探讨性的实验

第四节下一步可开展的工作

附录一发表的文章

附录二作者简介

致谢