首页> 中文期刊>高等学校化学学报 >表面波激发微波等离子体-醋酸钴解离沉积钴薄膜的研究

表面波激发微波等离子体-醋酸钴解离沉积钴薄膜的研究

     

摘要

著录项

  • 来源
    《高等学校化学学报》|1993年第7期|935|共1页
  • 作者

    于爱民;

  • 作者单位

    无;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类
  • 关键词

  • 入库时间 2022-08-18 02:04:53

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号