基于三维感应线圈的新型MEMS电流传感器

摘要

基于三维感应线圈,研制了一种新型微机电系统(MEMS)电流传感器.传感器以玻璃为衬底,以聚酰亚胺为支撑和绝缘材料,通过溅射、光刻、电镀、抛光等微加工工艺在玻璃衬底上制作出三维感应线圈.传感器具有功耗低、线性度好、质量轻和结构简单等优点,通过U型装置固定在传输导线表面,安装方便.实验测试结果表明:电流传感器两端输出的电压信号与传输线路中的电流成线性关系,线性度为0.58％.