一种基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达

摘要

本发明涉及一种基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达，包括MEMS支架、安装在MEMS支架上的一维MEMS振镜、中空的旋转底盘、位于电机内的环形磁铁以及位于电机下方的半透半反镜、激光准直镜、激光器、激光接收器和激光接收聚焦镜，所述一维MEMS振镜及半透半反镜位于环形磁铁的中轴线上，所述旋转底盘固定在环形磁铁内侧，所述MEMS支架固接在旋转底盘上，所述半透半反镜、激光准直镜以及激光器依次排列于激光发射线上，所述半透半反镜、激光接收聚焦镜以及激光接收器依次排列于激光接收线上，所述激光发射线或激光接收线与环形磁铁的中轴线相重合。本发明降低了电机的负载重量和激光雷达功耗。整体设计紧凑，减少了装置的体积。