Electrostatics ; Kalman filtering ; Actuation ; Actuators ; Capacitance ; Closed loop systems ; Control ; Control systems ; Deflection ; Demonstrations ; Displacement ; Dynamic response ; Dynamics ; Equilibrium(General) ; Input ; Inversion ; Limitations ; Linear systems ; Measurement ; Models ; Quadratic equations ; Quadratic programming ; Signals ; Simulation ; Stability ; Statics ; Theses ; Voltage ; Voltage regulation;
机译:卡尔曼滤波器可实现MEMS纳米定位器的高速控制
机译:带有扩展卡尔曼滤波器观测器的MEMS z轴陀螺仪的自适应模糊终端滑模控制
机译:借助MEMS传感器,卡尔曼滤波和简化的两滤波器平滑功能进行低成本的对象跟踪
机译:具有垂直狭缝和金属涂层的深蚀刻微镜,可实现透射型光学MEMS滤波器
机译:具有非线性和参数不确定性的MEMS微镜阵列的建模和控制
机译:使用MEMS传感器的数据进行地面沉降岩土工程监测中的卡尔曼滤波器
机译:卡尔曼滤波对核材料控制的应用。 Kalman滤波和线性平滑用于检测核材料损失