Faculty of Engineering, Ain Shams University, 1 El-Sarayat St., Cairo, Egypt, 11517;
Faculty of Engineering, Ain Shams University, 1 El-Sarayat St., Cairo, Egypt, 11517,Si-Ware Systems 3, Khaled Ibn Al-Waleed St., Heliopolis, Cairo, Egypt, 11361;
Si-Ware Systems 3, Khaled Ibn Al-Waleed St., Heliopolis, Cairo, Egypt, 11361;
Faculty of Engineering, Ain Shams University, 1 El-Sarayat St., Cairo, Egypt, 11517;
Faculty of Engineering, Ain Shams University, 1 El-Sarayat St., Cairo, Egypt, 11517,Si-Ware Systems 3, Khaled Ibn Al-Waleed St., Heliopolis, Cairo, Egypt, 11361;
Slotted micromirror; Deep Reactive Ion Etching (DRIE); Fabry-Perot cavity; SOI optical bench;
机译:具有高速可调性的面内深蚀刻光学MEMS陷波滤波器
机译:具有受控透射率的深蚀刻MEMS开槽微镜
机译:基于垂直梳状驱动MEMS微镜的可变光衰减器
机译:具有垂直狭缝和金属涂层的深度蚀刻的微镜,可实现透射型光学MEMS过滤器
机译:利用具有光学表面重构算法的数字微镜设备进行相移光栅狭缝测试
机译:使用数字微镜设备进行高速光学衍射层析成像的动态空间滤波
机译:利用具有光学表面重构算法的数字微镜器件进行相移光栅狭缝测试
机译:利用卡尔曼滤波对mEms微镜进行线性二次控制