机译:基于垂直梳状驱动MEMS微镜的可变光衰减器
Microelectromechanical systems (MEMS); Micromirror; Variable optical attenuator (VOA); Vertical comb drive;
机译:基于垂直梳状驱动MEMS微镜的可变光衰减器
机译:一种基于新的MEMS基于MEMS的可变电容,使用静电垂直梳驱动致动器和辅助悬臂梁
机译:具有成形式梳状梳驱动器的线性可变光衰减器
机译:中红外线可调谐腔腔增强型检测器采用垂直移动的梳驱动器致动MEMS微镜
机译:对基于静电驱动波导的光学MEMS器件进行可变光衰减的建模,分析和测试。
机译:具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译:低压MEMS模拟微镜阵列,隐藏垂直梳驱动器致动器
机译:使用垂直轴CmOs-mEms驱动和传感的陀螺仪和微镜设计