MEMS纳米量热传感器基底结构与材料仿真

摘要

通过对微机电系统(MEMS)纳米量热传感器原理与热损耗机理分析,借助有限元分析(FEA)软件研究不同结构、材料种类的基底对纳米量热传感器热分布、功耗的影响,并通过对纳米量热信号的仿真,验证了器件的可行性,进而依据仿真结果对纳米量热传感器的性能进行优化.研究可以为其他不同类型的量热器件的仿真与设计提供参考依据.