MEMS纳米量热传感器基底结构与材料仿真

蒲逸然; 谢建良; 王昕

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MEMS纳米量热传感器基底结构与材料仿真

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通过对微机电系统(MEMS)纳米量热传感器原理与热损耗机理分析,借助有限元分析(FEA)软件研究不同结构、材料种类的基底对纳米量热传感器热分布、功耗的影响,并通过对纳米量热信号的仿真,验证了器件的可行性,进而依据仿真结果对纳米量热传感器的性能进行优化.研究可以为其他不同类型的量热器件的仿真与设计提供参考依据.

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来源
《传感器与微系统》|2019年第5期|10-1216|共4页
作者
蒲逸然; 谢建良; 王昕;
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作者单位

电子科技大学国家电磁辐射控制材料工程技术研究中心,四川成都 611731;

电子科技大学国家电磁辐射控制材料工程技术研究中心,四川成都 611731;

电子科技大学国家电磁辐射控制材料工程技术研究中心,四川成都 611731;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.1;
关键词
热分析; 微机电系统; 有限元; 纳米量热技术; 热损耗; 热容;
入库时间 2023-07-25 09:52:02

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