MEMS pressure sensor utilizing nanocomposites

机译：利用纳米复合材料的MEMS压力传感器

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摘要

Cílem této práce je seznámit čtenáře se základními technologickými operacemi výroby MEMS (Mikro-elektro-mechanických systémů). Dále jsou v této práci zmíněny vlastnosti a výroba CNTs (uhlíkových nanotrubic), které jsou použity pro výrobu kapacitního tlakového senzoru.

机译：这项工作的目的是使读者熟悉MEMS（微机电系统）生产的基本技术操作。此外，在这项工作中提到了用于生产电容式压力传感器的CNT（碳纳米管）的特性和生产。

著录项

作者
Šeda Miroslav;
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作者单位

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年度 2008
总页数
原文格式 PDF
正文语种 {"code":"cs","name":"Czech","id":5}
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