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阵列式硅压阻压力传感器的研究

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摘要

介绍了一种阵列式硅压阻压力传感器,就其设计结构、生长工艺及实验结果进行了概要地阐述,其生长工艺将微机械加工工艺和半导体平面CMOS工艺融为一体.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2000年第5期|17-18,21|共3页
作者
王长虹; 程颖; 陶文中;
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作者单位

信息产业部电子第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

信息产业部电子第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

信息产业部电子第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
阵列; 压力传感器; CMOS工艺;

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