公开/公告号CN101881676B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-08-29
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201010205614.5
申请日2010-06-22
分类号
代理机构上海智信专利代理有限公司;
代理人潘振甦
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:11:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-08-29
授权
授权
2010-12-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/20 申请日:20100622
实质审查的生效
2010-11-10
公开
公开
机译: 微机械压力传感器具有重叠的相邻外延单晶硅和多晶硅区域,从而能够以压阻方式测量压力引起的膜波动
机译: 硅膜压阻式压力传感器及其制造方法
机译: 利用剪切应力的压阻式压力传感器及其制造方法,能够在晶片上制造压阻式压力传感器